Tunable extraction assembly for wide angle ion beam

WO2022015432 Art A1 20. Januar 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022015432
Aktenzeichen: EP21843173
Anmeldetag: 9. Juni 2021
Veröffentlichung: 20. Januar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01J27/02H01J37/04H01J37/08H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von