Computed axial lithography optimization system

WO2022015657 Art A1 20. Januar 2022

Anmelder: LAWRENCE LIVERMORE NATIONAL SECURITY, LLC, TAYLOR, Hayden, LI, Chi Chung, RONGEY, Trevor, Jr., LUK, Sui Man, FU, Heting, FEILI, Samira, TOOMBS, Joseph, HEIDARI, Hossein 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022015657
Aktenzeichen
EP21843557
Anmeldetag
12. Juli 2021
Veröffentlichung
20. Januar 2022
Rechtsraum
WO
IPC
B29C64/386B29C64/124B29C64/264B29C64/393B33Y10/00B33Y30/00B33Y50/00B33Y50/02B33Y80/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
LAWRENCE LIVERMORE NATIONAL SECURITY, LLC
TAYLOR, Hayden
LI, Chi Chung
RONGEY, Trevor, Jr.
LUK, Sui Man
FU, Heting
FEILI, Samira
TOOMBS, Joseph
HEIDARI, Hossein
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Lawrence Livermore National Security

Lawrence Livermore National Security ist die Betreibergesellschaft des Lawrence Livermore National Laboratory, eines US-Forschungslabors für nationale Sicherheit und Energie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Fertigungstechnik, ergänzt durch Optik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2002 bis 2025.

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