Sponge brush replacement tool and installation method, and semiconductor chemical-mechanical polishing device

WO2022016963 Art A1 27. Januar 2022

Anmelder: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022016963
Aktenzeichen: EP21846063
Anmeldetag: 11. Mai 2021
Veröffentlichung: 27. Januar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304H01L21/67B65G7/12B66C1/28B25B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Changxin Memory Technologies

Chinesischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Hefei, spezialisiert auf DRAM-Speicherchips.

2.637 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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