Method for identifying a line defect on a substrate, and apparatus for identifying a line defect on a substrate

WO2022017608 Art A1 27. Januar 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022017608
Aktenzeichen: EP20746607
Anmeldetag: 23. Juli 2020
Veröffentlichung: 27. Januar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G09G3/00G01R31/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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