Befestigungselement für eine Lithographieanlage, Lithographieanlage und Verfahren zum Herstellen eines Befestigungselements

WO2022017709 Art A1 27. Januar 2022

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022017709
Aktenzeichen: EP21737358
Anmeldetag: 22. Juni 2021
Veröffentlichung: 27. Januar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/00G02B27/00F16B33/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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