Ion gun and vacuum processing device

WO2022018840 Art A1 27. Januar 2022

Anmelder: CANON ANELVA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022018840
Aktenzeichen: EP20945855
Anmeldetag: 22. Juli 2020
Veröffentlichung: 27. Januar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01J27/14

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CANON ANELVA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

421 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von