Niobium precursor compound, film-forming precursor composition comprising same, and method for forming niobium-containing film

WO2022019712 Art A1 27. Januar 2022

Anmelder: UP CHEMICAL CO., LTD., SK HYNIX INC. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022019712
Aktenzeichen
EP21845224
Anmeldetag
23. Juli 2021
Veröffentlichung
27. Januar 2022
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/18C23C16/40C23C16/34C23C16/32C23C16/455C07F9/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
UP CHEMICAL CO., LTD.
SK HYNIX INC.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 SK hynix

Südkoreanischer Halbleiterhersteller, der Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash für Computer, Server und mobile Geräte produziert.

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