Molecular layer deposition method and system
WO2022020533
Art A1
27. Januar 2022
Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC., NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022020533
- Aktenzeichen
- EP21846717
- Anmeldetag
- 21. Juli 2021
- Veröffentlichung
- 27. Januar 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/02
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- APPLIED MATERIALS, INC.
NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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🇸🇬
National University of Singapore
Staatliche Universität in Singapur, eine der größten und international bestbewerteten Hochschulen Asiens. Sie ist in Forschung und Lehre breit aufgestellt, mit starken Ingenieur- und Naturwissenschaftsfakultäten.
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