Computer implemented method for improving measurement quality of a deposition rate measurement device and deposition measurment system

WO2022022817 Art A1 3. Februar 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022022817
Aktenzeichen: EP20750220
Anmeldetag: 29. Juli 2020
Veröffentlichung: 3. Februar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/54C23C16/52G01N29/02G01N29/036G05B23/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von