Double-scanning opto-mechanical configurations to improve throughput of particle inspection systems

WO2022023129 Art A1 3. Februar 2022

Anmelder: ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022023129
Aktenzeichen: EP21746484
Anmeldetag: 20. Juli 2021
Veröffentlichung: 3. Februar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/84G03F7/20G01N21/47G01N21/88G01N21/94

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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