Verfahren zur Kalibration, Vorrichtung zur Zuführung eines Kalibriergases zu einem Vakuum, Kalibriersubstanz, System zur Ausbildung einer Vakuumumgebung und Projektionsbelichtungsanlage

WO2022023312 Art A1 3. Februar 2022

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022023312
Aktenzeichen: EP21749618
Anmeldetag: 27. Juli 2021
Veröffentlichung: 3. Februar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: B01J3/00G03F7/20G01L19/00G01N33/00H01J49/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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