Mounting device, and method for detecting parallelism in mounting device

WO2022024291 Art A1 3. Februar 2022

Anmelder: SHINKAWA LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022024291
Aktenzeichen
EP20946727
Anmeldetag
30. Juli 2020
Veröffentlichung
3. Februar 2022
Rechtsraum
WO
IPC
G01B5/24H01L21/52H01L21/60H01L21/603H05K13/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHINKAWA LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shinkawa

Shinkawa ist ein japanischer Hersteller von Bondanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Musashimurayama. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Elektronik, ergänzt um Mess- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen betreffen überwiegend Montagevorrichtungen und zugehörige Steuerprogramme.

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