System for measuring thickness and physical properties of thin film using spatial light modulator

WO2022025385 Art A1 3. Februar 2022

Anmelder: SEOUL NATIONAL UNIVERSITY R&DB FOUNDATION 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022025385
Aktenzeichen: EP21851399
Anmeldetag: 29. März 2021
Veröffentlichung: 3. Februar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/06G01B11/02G01N21/17G01N21/21G01J1/02G01J1/04G01J9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SEOUL NATIONAL UNIVERSITY R&DB FOUNDATION
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Seoul National University R&DB Foundation

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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