Semiconductor manufacturing process detection system and semiconductor manufacturing process detection method

WO2022028101 Art A1 10. Februar 2022

Anmelder: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022028101
Aktenzeichen
EP21854163
Anmeldetag
10. Juni 2021
Veröffentlichung
10. Februar 2022
Rechtsraum
WO
IPC
G06Q10/00H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Changxin Memory Technologies

Chinesischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Hefei, spezialisiert auf DRAM-Speicherchips.

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