Vapor source, nozzle for a vapor source, vacuum deposition system, and method for depositing an evaporated material

WO2022028675 Art A1 10. Februar 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022028675
Aktenzeichen: EP20751132
Anmeldetag: 4. August 2020
Veröffentlichung: 10. Februar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/04C23C14/12C23C14/24C23C14/54C23C14/56C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von