Optical system and method of operating an optical system

WO2022028710 Art A1 10. Februar 2022

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH, ASML NETHERLANDS B.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022028710
Aktenzeichen: EP20760780
Anmeldetag: 7. August 2020
Veröffentlichung: 10. Februar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: CARL ZEISS SMT GMBH
ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von