A fabrication process deviation determination method, calibration method, inspection tool, fabrication system and a sample

WO2022028778 Art A1 10. Februar 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022028778
Aktenzeichen: EP21737435
Anmeldetag: 29. Juni 2021
Veröffentlichung: 10. Februar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N21/55G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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