Method and apparatus for concept drift mitigation

WO2022028805 Art A1 10. Februar 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022028805
Aktenzeichen
EP21743112
Anmeldetag
7. Juli 2021
Veröffentlichung
10. Februar 2022
Rechtsraum
WO
IPC
G06N20/00G03F7/20G03F9/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML NETHERLANDS B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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