Waferträger und System für eine Epitaxievorrichtung
WO2022028910
Art A1
10. Februar 2022
Anmelder: AMS-OSRAM INTERNATIONAL GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022028910
- Aktenzeichen
- EP21748861
- Anmeldetag
- 22. Juli 2021
- Veröffentlichung
- 10. Februar 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/67H01L21/687C23C16/458C30B25/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- AMS-OSRAM INTERNATIONAL GMBH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
ams OSRAM
ams OSRAM International GmbH ist ein deutsch-österreichischer Hersteller von Sensoren und optoelektronischen Bauteilen, entstanden aus dem Zusammenschluss von ams und Osram.
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