Flushing plate, device method and use for processing a sample by a particle beam induced process

WO2022029262 Art A1 10. Februar 2022

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022029262
Aktenzeichen: EP21755758
Anmeldetag: 5. August 2021
Veröffentlichung: 10. Februar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/74H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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