Control device, lithography device, and method for manufacturing article

WO2022030334 Art A1 10. Februar 2022

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022030334
Aktenzeichen: EP21853286
Anmeldetag: 28. Juli 2021
Veröffentlichung: 10. Februar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G05B13/02G06N3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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