Method for forming ruthenium thin film

WO2022030348 Art A1 10. Februar 2022

Anmelder: RESEARCH COOPERATION FOUNDATION OF YEUNGNAM UNIVERSITY, TANAKA KIKINZOKU KOGYO K.K. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022030348
Aktenzeichen: EP21854609
Anmeldetag: 29. Juli 2021
Veröffentlichung: 10. Februar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/18H01L21/28H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: RESEARCH COOPERATION FOUNDATION OF YEUNGNAM UNIVERSITY
TANAKA KIKINZOKU KOGYO K.K.
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇯🇵 Tanaka Kikinzoku Kogyo

Tanaka Kikinzoku Kogyo ist ein japanisches Unternehmen für Edelmetallverarbeitung mit Sitz in Tokio. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Fertigungs- und Verfahrenstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2023 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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