Fluorine-Free Tungsten Deposition Process Employingin-Situ

WO2022031346 Art A1 10. Februar 2022

Anmelder: SANDISK TECHNOLOGIES LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022031346
Aktenzeichen: EP21854089
Anmeldetag: 26. Mai 2021
Veröffentlichung: 10. Februar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/14H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SANDISK TECHNOLOGIES LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 SanDisk

US-amerikanischer Hersteller von Flash-Speicherprodukten wie SSDs, Speicherkarten und USB-Sticks. Das Unternehmen war zeitweise Teil von Western Digital und agiert seit 2025 wieder eigenständig.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von