Actuator arrangement and electron-optical column

WO2022033941 Art A1 17. Februar 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022033941
Aktenzeichen: EP21755461
Anmeldetag: 4. August 2021
Veröffentlichung: 17. Februar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/02H01J37/15H01J37/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von