Verfahren zum Herstellen einer Ferroelektrischen Schicht oder einer Antiferroelektrischen Schicht

WO2022034061 Art A1 17. Februar 2022

Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWAND 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022034061
Aktenzeichen: EP21758372
Anmeldetag: 10. August 2021
Veröffentlichung: 17. Februar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/40H01L21/02C23C16/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWAND
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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