Optical image contrast metric for optical target search
WO2022035590
Art A1
17. Februar 2022
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022035590
- Aktenzeichen
- EP21856429
- Anmeldetag
- 28. Juli 2021
- Veröffentlichung
- 17. Februar 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/95G01N21/88G06T7/00H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Vertreten von
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