Plasma device for gas-based surface treatment and water activation

WO2022036222 Art A1 17. Februar 2022

Anmelder: The Regents of the University of Michigan 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022036222
Aktenzeichen: EP21856792
Anmeldetag: 13. August 2021
Veröffentlichung: 17. Februar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/36B08B5/00B08B7/00B08B7/04H01J37/32H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of Michigan
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Regents of the University of Michigan

Leitungsgremium der University of Michigan in den USA, das als Patentanmelder für Erfindungen aus der universitären Forschung auftritt. Schwerpunkte sind Medizintechnik, Ingenieurwissenschaften und Life Sciences.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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