Semiconductor machine cleaning system and semiconductor machine cleaning method

WO2022037223 Art A1 24. Februar 2022

Anmelder: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022037223
Aktenzeichen: EP21857320
Anmeldetag: 17. Juni 2021
Veröffentlichung: 24. Februar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20B08B5/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Changxin Memory Technologies

Chinesischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Hefei, spezialisiert auf DRAM-Speicherchips.

2.637 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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