Method and apparatus for cleaning washing tool, substrate washing device, and method for manufacturing washing tool

WO2022038978 Art A1 24. Februar 2022

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022038978
Aktenzeichen: EP21858127
Anmeldetag: 28. Juli 2021
Veröffentlichung: 24. Februar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: B08B1/04B08B3/08B08B13/00H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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