Scanning electron microscope image anchoring to design for array

WO2022040109 Art A1 24. Februar 2022

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022040109
Aktenzeichen: EP21858916
Anmeldetag: 17. August 2021
Veröffentlichung: 24. Februar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/00G06T7/33G06T7/73G01N21/88

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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