Solenoid bank with standby solenoid valves for controlling pneumatic valves of a substrate processing system

WO2022040166 Art A1 24. Februar 2022

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022040166
Aktenzeichen: EP21858955
Anmeldetag: 17. August 2021
Veröffentlichung: 24. Februar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455C23C16/52G05D7/06F16K31/06F16K31/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von