Detection method and apparatus for wafer production process, and electronic device

WO2022041955 Art A1 3. März 2022

Anmelder: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022041955
Aktenzeichen
EP21859799
Anmeldetag
16. Juni 2021
Veröffentlichung
3. März 2022
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Changxin Memory Technologies

Chinesischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Hefei, spezialisiert auf DRAM-Speicherchips.

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