Composition, its use and a process for removing post-etch residues

WO2022043111 Art A1 3. März 2022

Anmelder: BASF SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022043111
Aktenzeichen: EP21752575
Anmeldetag: 16. August 2021
Veröffentlichung: 3. März 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/306H01L21/02C11D11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BASF SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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