Readout circuit for pixelized electron detector

WO2022043286 Art A1 3. März 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022043286
Aktenzeichen: EP21766159
Anmeldetag: 24. August 2021
Veröffentlichung: 3. März 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01T1/17

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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