Apparatus for and method of optical component alignment

WO2022046402 Art A1 3. März 2022

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022046402
Aktenzeichen: EP21773173
Anmeldetag: 10. August 2021
Veröffentlichung: 3. März 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01S3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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