Programmable and reconfigurable mask with mems micro-mirror array for defect detection
WO2022046577
Art A1
3. März 2022
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022046577
- Aktenzeichen
- EP21862448
- Anmeldetag
- 23. August 2021
- Veröffentlichung
- 3. März 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/88G01N21/55
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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