Hollow-core photonic crystal fiber based broadband radiation generator

WO2022048847 Art A1 10. März 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022048847
Aktenzeichen: EP21754984
Anmeldetag: 4. August 2021
Veröffentlichung: 10. März 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G02F1/35G02F1/01G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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