Self-organizing film-forming composition, and method for forming pattern

WO2022049968 Art A1 10. März 2022

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022049968
Aktenzeichen: EP21864026
Anmeldetag: 3. August 2021
Veröffentlichung: 10. März 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C08K5/04C08K5/10C08L53/00B82Y40/00G03F7/40H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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