Information processing device, information processing method, program, and computer readable non-transitory storage medium
WO2022050085
Art A1
10. März 2022
Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022050085
- Aktenzeichen
- EP21864143
- Anmeldetag
- 20. August 2021
- Veröffentlichung
- 10. März 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/84
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
SCREEN Holdings
Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.
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