Cartridge aligner apparatus for multi prober

WO2022050453 Art A1 10. März 2022

Anmelder: KOREA INSTITUTE OF INDUSTRIAL TECHNOLOGY 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022050453
Aktenzeichen
EP20952552
Anmeldetag
4. September 2020
Veröffentlichung
10. März 2022
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66G01R1/073H01L21/67H01L21/673H01L21/677H01L21/687
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KOREA INSTITUTE OF INDUSTRIAL TECHNOLOGY
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Korea Institute of Industrial Technology

Das Korea Institute of Industrial Technology (KITECH) ist eine südkoreanische staatliche Forschungseinrichtung für angewandte Industrietechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik sowie Metallurgie und Halbleitertechnik, ergänzt durch Verfahrenstechnik. Anmeldungen sind von 2002 bis in die Gegenwart belegt.

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