Cartridge aligner apparatus for multi prober
WO2022050453
Art A1
10. März 2022
Anmelder: KOREA INSTITUTE OF INDUSTRIAL TECHNOLOGY 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022050453
- Aktenzeichen
- EP20952552
- Anmeldetag
- 4. September 2020
- Veröffentlichung
- 10. März 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66G01R1/073H01L21/67H01L21/673H01L21/677H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KOREA INSTITUTE OF INDUSTRIAL TECHNOLOGY
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Korea Institute of Industrial Technology
Das Korea Institute of Industrial Technology (KITECH) ist eine südkoreanische staatliche Forschungseinrichtung für angewandte Industrietechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik sowie Metallurgie und Halbleitertechnik, ergänzt durch Verfahrenstechnik. Anmeldungen sind von 2002 bis in die Gegenwart belegt.
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