System, method and apparatus for monitoring closedness of door panel of exposure machine, and medium and device

WO2022052614 Art A1 17. März 2022

Anmelder: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022052614
Aktenzeichen: EP21865670
Anmeldetag: 12. Juli 2021
Veröffentlichung: 17. März 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01D21/00G01B11/26E05C17/56B65D43/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Changxin Memory Technologies

Chinesischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Hefei, spezialisiert auf DRAM-Speicherchips.

2.637 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Hochbau & Gebäudetechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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