Pod handling systems and methods for a lithographic device

WO2022053283 Art A1 17. März 2022

Anmelder: ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022053283
Aktenzeichen: EP21766447
Anmeldetag: 19. August 2021
Veröffentlichung: 17. März 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/66H01L21/687H01L21/67H01L21/673B25J15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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