Method of performing metrology, method of training a machine learning model, method of providing a layer comprising a two-dimensional material, metrology apparatus

WO2022058111 Art A1 24. März 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022058111
Aktenzeichen: EP21762040
Anmeldetag: 17. August 2021
Veröffentlichung: 24. März 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/84G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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