Film formation device
WO2022059119
Art A1
24. März 2022
Anmelder: TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS COR 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022059119
- Aktenzeichen
- EP20954105
- Anmeldetag
- 17. September 2020
- Veröffentlichung
- 24. März 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/365H01L21/368C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS COR
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
Japanisches Gemeinschaftsunternehmen von Toshiba und Mitsubishi Electric für industrielle Antriebssysteme, Motoren und Automatisierungstechnik.
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