Inspection device and inspection method

WO2022059377 Art A1 24. März 2022

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022059377
Aktenzeichen: EP21869064
Anmeldetag: 5. August 2021
Veröffentlichung: 24. März 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/84

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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