Raw material for formation of thin film for use in atomic layer deposition, and method for producing thin film

WO2022059571 Art A1 24. März 2022

Anmelder: ADEKA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022059571
Aktenzeichen
EP21869258
Anmeldetag
8. September 2021
Veröffentlichung
24. März 2022
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/40C07C49/92C07F5/00H01L21/31H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ADEKA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ADEKA Corporation

ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.

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