An Electrostatic Chuck Having A Heating And Chucking Capabilities

WO2022060600 Art A1 24. März 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022060600
Aktenzeichen: EP21869995
Anmeldetag: 8. September 2021
Veröffentlichung: 24. März 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683H01L21/687H01L21/67C23C16/458C23C14/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.783 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von