Electrostatic comb drive-based silicon-based mems optical switch and n × n array

WO2022062317 Art A1 31. März 2022

Anmelder: ZHEJIANG UNIVERSITY 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022062317
Aktenzeichen
EP21870706
Anmeldetag
1. März 2021
Veröffentlichung
31. März 2022
Rechtsraum
WO
IPC
G02B6/35G02B6/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ZHEJIANG UNIVERSITY
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Zhejiang University

Chinesische Universität mit Sitz in Hangzhou, eine der führenden Forschungshochschulen Chinas mit breitem Fächerspektrum einschließlich Ingenieurwissenschaften und Materialforschung.

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