Heterodyne grating interferometry system based on secondary diffraction

WO2022062967 Art A1 31. März 2022

Anmelder: TSINGHUA UNIVERSITY, BEIJING U-PRECISION TECH CO., LTD. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022062967
Aktenzeichen: EP21871338
Anmeldetag: 14. September 2021
Veröffentlichung: 31. März 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/02G01B9/02G02B27/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TSINGHUA UNIVERSITY
BEIJING U-PRECISION TECH CO., LTD.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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