Metrology tool with position control of projection system

WO2022063508 Art A1 31. März 2022

Anmelder: ASML HOLDING N.V., ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022063508
Aktenzeichen: EP21769909
Anmeldetag: 24. August 2021
Veröffentlichung: 31. März 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML HOLDING N.V.
ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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